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一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统

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专利号:2014106726093 发明类型:发明专利
所属行业:化学原料及制品 有效期限:2014年11月22日至2034年11月21日
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专利号:2014106726093 专利名称:一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统 专利类型:发明专利
公开日期:20150204 申请日期:2014年11月22日 有效日期:2034年11月21日
法律状态:

专利简介

公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统,该装置包括压力传感器、电子流量阀、PLC控制器,其中,压力传感器,电子流量阀与PLC控制器通过信号线连接和通信,压力传感器安装在冷却出水口位置,电子流量阀安装在冷却进水口。出水压力变化通过压力传感器传输给PLC控制器,PLC控制器调节电子流量阀就能使水压自动保持在所需压力的±0.01兆帕度,从而形成冷却水压力的闭环控制。利用本专利能在使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统进出水压力变化控制在0.01兆帕以内,减少了水压波动对晶体生长过程的影响,提高了晶体生长的质量。?

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